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浙江大學光學軟刻蝕裝置更正公告

 
所屬地區 浙江省 加入日期 2016年10月14日 截止時間 2016年10月20日

正文內容

 

一.采購人名稱:
浙江大學
二.采購項目名稱:
三.采購項目編號:
CG201602222
四.原采購公告發布日期:
2016年10月13日
五.更正理由:
采購人要求
六.更正事項:
技術參數更正,更正后的技術參數如下:

 

設備名稱 數量 技術參數
光學軟刻蝕裝置(進口)(CG201602222) 1
1、曝光面積:200×200mm;
2、分辨力:≤3um;
3、對準精度:±2um;
4、掩模尺寸:3英寸、5英寸、7英寸、9英寸;
5、樣片尺寸:2英寸、4英寸、6英寸、8英寸;
6、wafer chuck表面:防止光反射涂層;
7、掩模樣片整體運動范圍:X:10mm,Y:10mm;
8、掩模相對于樣片運動行程:X:±5mm,Y:±5mm,q:±6°;
9、汞燈功率:1000W直流;
10、曝光能量密度:≥15mW/cm 2
11、光源能量控制:光源恒功率(每日測量光強,微調recipe);
12、曝光峰值波長:365nm;
13、曝光方式:定時(倒計時方式0.1s~9999.9s);
14、光刻版夾具兼容性;
15、具有盲曝粗對準功能。
16、配置:
16.1、曝光頭系統:冷光橢球鏡,1000W直流高壓汞燈,XYZ汞燈調節臺,光學系統(冷光紫外平面反射鏡、快門、蠅眼透鏡組、冷光紫外拋物面反射鏡),冷卻風扇;
16.2、對準工件臺系統:掩模樣片相對運動臺,XY轉動臺,樣片調平機構,樣片調焦機構,承片臺3個(對應樣片),掩模夾3個(對應掩模);
16.3、CCD對準顯微鏡系統:4倍顯微鏡2只,照明光源2套,CCD相機2只,22英寸液顯;
16.4、電控系統:汞燈觸發電源(1000W),單片機控制系統,控制柜桌;
16.5、氣動系統系統:包括氣缸、電磁、減壓、氣動開關,電磁閥驅動,氣動儀表等;
16.6、其他附件:真空1臺,空壓機1臺,配套氣管10~15m。

 

七.其他事項:
八.聯系方式
采購代理機構名稱: 杭州求是招標代理有限公司
地點:杭州市豐潭路380號城西銀泰城B座11樓1101
聯系人:王盼
聯系電話:0571-87953982
傳真: 0571-87666111

標簽: 壓縮機空壓機  

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